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深入分析壓力傳感器的相關知識

敏感元件是可以靈敏地感觸被測變量并作出呼應的元件。如:彈性膜盒能感觸壓力的凹凸而引起形變,形變的程度就是對壓力凹凸的呼應,因而,彈性膜盒是一種壓力敏感元件。 
    傳感器不但應該對被測量敏感,并且具有把它對被測量的呼應傳送出去的功用。也就是說,傳感器不只是一般的敏感元件,它的輸出呼應還須***是易于傳送的物理量。例如:上訴的彈性膜盒的輸出呼應是形變,是微小的幾何量,不便于向遠方傳送。如果把膜盒基地的位移轉變?yōu)殡娙輼O板的間隙變化,就成為輸出呼應是電容量的壓力傳感器。  
    因為電信號***便于傳送,所以絕大多數(shù)傳感器的輸出是電量的形式,如電壓、電流、電阻、電感、電容、頻率等。  
    變送器是從傳感器開展而來的,凡能輸出規(guī)范信號的傳感器就稱為變送器。(規(guī)范信號是物理量的形式和數(shù)值范圍都契合******規(guī)范的信號。例如直流4~20mA)有了統(tǒng)一的信號形式和數(shù)值范圍,就便于把各種變送器和別的外表組成檢查系統(tǒng)或調(diào)理系統(tǒng)。  
    輸出為非規(guī)范信號的傳感器,須***和特定的外表或裝置配套,才能實現(xiàn)檢查或調(diào)理功用。為了加強通用性和靈活性,某些傳感器的輸出可以靠變換器把非規(guī)范信號變換成規(guī)范信號,使之與帶有規(guī)范信號的輸入電路或接口的外表配套。不同的規(guī)范信號也可借助于變換器互相變換。例如利用氣/電變換器,能把20~100 kPa的空氣壓力變換成0~10mA的直流電流。  
    位式效果和接連效果:     
    位式效果,也稱為開關效果,即傳感器在輸入變量整個變化范圍內(nèi)其輸出相應只要兩種狀況,例如空氣狀況的“高”和“低”。 
    位式效果的傳感器多用于被測變量的超限報警、連鎖保護、順序控制。例如我們的壓力開關。 
    需要接連檢查或調(diào)理某些變量時,就須***用接連效果的傳感器或變送器。 
    長野的變送器中所運用的傳感器SS—蒸發(fā)型半導體應變片的特色:     
   (1)相對于粘貼式和分散式,蒸發(fā)式為新技術。 
   (2)其可測壓力范圍 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。
   (3)具有很好耐用性和穩(wěn)定性。
    半導體應變片的制作方法:粘貼方法、蒸發(fā)方法、分散方法。  
    長野的變送器,如KM31、KM10 等,其半導體應變片部分、感應元件(不銹鋼隔閡)以及壓力接口部分經(jīng)過焊接連接成一體,具有很高的穩(wěn)定性和可靠性,抗震性和抗沖擊性良好。 
     蒸發(fā)式半導體應變片的具體制作方法如下:        
   (1)在不銹鋼隔閡上運用CVD等離子沉積一層SiO2絕緣膜 
   (2)在SiO2絕緣膜上再沉積一層多晶硅。 
   (3)在多晶硅上運用激光蝕刻,應變片成型 。
   (4)用電子束照射蒸鍍,配上金制電極。 
   (5)再運用CVD等離子沉積一層SiNx保護膜。 
 
    依據(jù)傳感器或變送器的安裝場合有無易燃易爆氣體及風險程度,選擇隔爆型及本安型。     
   (1)隔爆型在內(nèi)部電路和周圍易燃氣體之間采取了阻隔措施,允許運用在有必定風險性的環(huán)境里 。
   (2)本安型即本質(zhì)安全型的簡稱,依靠特殊設計的電路確保在正常工作及故障(意外短路或斷路)狀況下都不會引起燃爆事端,可用在非常易燃易爆的場合。

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